你的当前位置: 首页 > 供应 > 压电陶瓷元件发布信息

中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

批发价:
面议
  
供货总量:
183240
出货情况:
630,6个订单
发货期限:
自买家付款之日起 3 天内发货
所在地:
北京
有效期至:
长期有效
  • 产品详情
  • 评价详情
  • 交易记录


销售热线:18500193075(秦威)
固定电话: 010-82995634(秦威)
E-MAIL: qinwei@ime.ac.cn
QQ: 2350573414
传真: 010-84025539
地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
作为中科院微电子所(www.rf-power.net)最新一代晶体管射频电源(RFG系列):
1.控制方式更灵活:全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.最低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能,可同步多台电源并克服之间的相互干扰
中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标:
    1、自动快速调节匹配网络
    2、实时显示入射功率及反射功率变化,   指示精度 3%
    3、显示自偏压
    4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征
    5、采用真空电容调节(1KW以上)
    6、具有自动控制和手动控制两种模式
    7、电压输入: 220v
    8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用
    9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得"六五"攻关荣誉证书以及"FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究"项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。
 

联系信息